常压下，DVS Vacuum可与MKS质谱进行联用，两台仪器单独控制，互不干扰。

三种模式可供选择：

低压动态模式：两种蒸气总压力不变但流速不同的情况下，检测低压下的蒸气浓度。质谱连在DVS气体排出口。

常压动态模式：两种蒸气总压力不变但流速不同的情况下，检测常压下的蒸气浓度。质谱连在干燥泵的排口后，低压动态模式或者静态模式与此模式不兼容。

静态模式：密闭空间中的吸附，质谱能检测低压下的浓度变化。